财经快讯|金宏气体：高纯二氧化碳用于半导体超临界清洗工艺，已有2家客户批量供货

金宏气体近期在接受调研时表示，正硅酸乙酯用于半导体气相沉积工艺，相对来说测试周期较长，目前已有2家客户于今年11月开始批量供货。高纯二氧化碳用于半导体超临界清洗工艺，正在积极导入客户过程中，目前已有2家客户批量供货。